矽片等級分類及標准

矽片等級分類及標准
一、 優等品(Ⅰ類片)
1、物理、化學特性 ①型號:P 晶向〈100〉±1°； 18 3 ②氧含量: ≤1.0×10 at/cm ； 16 3 ③碳含量: ≤5×10 at/cm ； ④少子壽命:τ=1.3-3.0μs(在測試電壓≥20mv 下裸片的數據)； ⑤電阻率: 0.9-1.2、1.2-3.0、3.0-6.0Ω•cm； 2 ⑥位錯密度：≤3000 個/cm ； 2、幾何尺寸 ①邊長：125×125±0.5mm； ②對角：150×150±0.5mm； ③同心度：任意兩弧的弦長之差≤1mm; ④垂直度：任意兩邊的夾角 90°±0.3°； ⑤厚度：200±20μm; (中心點厚度≥195μm,邊緣四點厚度≥180 μm) 180±20μm; (中心點厚度≥175μm,邊緣四點厚度≥160 μm) ⑥TTV：≤30μm; ⑦彎曲度：≤40μm； 3、表面指標 ①線痕：無可視線痕； ②目視表面：無沾汙、無水漬、染色、白斑、指印等； ③無崩邊、無可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲；
二、 合格品（Ⅱ類片）

1、物理化學特性 ①型號:P 晶向〈100〉±1°； ②氧含量: ≤1.0×1018at/cm3； ③碳含量: ≤5×1016at/cm3； ④少子壽命:τ=1.0-1.2μs(在測試電壓≥20mv 下裸片的數據)； ⑤電阻率:0.5-0.8Ω•cm； ⑥位錯密度：≤3000 個/cm2； 2、幾何尺寸 ①邊長：125×125±0.5mm； ②對角：150×150±0.5mm； ③同心度：任意兩弧的弦長之差≤1.5mm; ④垂直度：任意兩邊的夾角 90°±0.3°； ⑤厚度：200±20μm;(中心點厚度≥195μm,邊緣四點厚度≥180 μm) 180±20μm;(中心點厚度≥175μm,邊緣四點厚度≥160 μm)
⑥TTV：≤30μm; ⑦彎曲度：≤40μm； 3、表面指標 ①線痕：無明顯線痕、觸摸無凹凸感。 ②崩邊範圍：崩邊口不是"V"型、長×深≤1×0.5mm，個數≤1 個/片；無 可視裂紋、邊緣光滑、目視無翹曲；
三、 等外品（Ⅲ類片）

1、物理、化學特性 ①型號:PN 晶向〈100〉±3°； ②氧含量: ≤1.0×1018at/cm3； 16 3 ③碳含量: ≤5×10 at/cm ； ④少子壽命:τ＜1.0μs(在測試電壓≥20m 下裸片的數據)； ⑤電阻率: ≤0.5Ω•cm； ⑥位錯密度：＞3000 個/cm2； 2、幾何尺寸 ①邊長：125×125±1.0mm； ②對角：150×150±1.0mm； ③同心度：任意兩弧的弦長之差≤1.5mm; ④垂直度：任意兩邊的夾角 90°±0.5°； ⑤厚度：＜160μm 3、表面指標 ①有明顯線痕、觸摸有凹凸感。
說明：只要滿足第三條"等外品（Ⅲ類片） "的任意一項就 判為不合格品。

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