二氧化矽的結構

在大多數微電子工藝感興趣的溫度範圍內，二氧化矽的結晶率低到可以被忽略。

二氧化矽的結構

盡管熔融石英不是長範圍有序，但它卻表現出短的有序結構，它的結構可認為是4個氧原子位於四面體的頂點上。多面體中心是一個矽原子。這樣，每4個氧原子近似共價鍵合到矽原子，滿足了矽的化合價外殼。如果每個氧原子是兩個多面體的一部分，則氧的化合價也被滿足，結果就成了稱為石英的規則的晶體結構。在熔融石英中，某些氧原子，成為氧橋位，與兩個矽原子鍵合。某些氧原子沒有氧橋，只和一個矽原子鍵合。可以認為熱生長二氧化矽主要是由人以方向的多面體網絡組成的。與無氧橋位相比，有氧橋的部分越大，氧化層的粘合力就越大，而且受損傷的傾向也越小。幹氧氧化層的有氧橋與無氧橋的比率遠大於濕氧氧化層。