多晶矽生產技術

多晶矽生產技術：
多晶矽生產技術主要有：
改良西門子法、矽烷法和流化床法。正在研發的還有冶金法、氣液沉積法、重摻矽廢料法等制造低成本多晶矽的新工藝。

世界上85％的多晶矽是采用改良西門子法生產的，其餘方法生產的多晶矽僅占15％。以下僅介紹改良西門子法生產工藝。

西門子法（三氯氫矽還原法）是以HCl（或Cl2、H2）和冶金級工業矽為原料，將粗矽（工業矽）粉與HCl在高溫下合成為SiHCl3，然後對SiHCl3進行化學精制提純，接著對SiHCL3進行多級精餾，使其純度達到9個9以上，其中金屬雜質總含量應降到0.1ppba以下，最後在還原爐中在1050℃的矽芯上用超高純的氫氣對SiHCL3進行還原而長成高純多晶矽棒。