單晶矽生產的環境影響

單晶矽項目的環境影響主要有以下幾方面：

廢氣：主要為正常生產時廢氣處理工序尾氣、產品後處理和矽芯制備工序酸性廢氣等，主要廢氣汙染物為HCl、NOx、氯矽烷、HF等。

廢水：主要為正常生產時產品後處理和矽芯制備工序水洗廢水、裝置區設備/地坪沖洗水，以及循環水、脫鹽水系統排出的假定清淨下水。主要廢水汙染物為SS、COD、鹽等。

固廢：主要固體廢棄物為原料制備和SiHCl3合成工序產生的矽粉、工藝廢料處理工序產生的NaCl和SiO2固體廢物、酸洗廢液處理工序產生的Ca(NO3)2/CaF2固體廢物。

噪聲：主要產噪設備為機泵、壓縮機和放空管

廢氣處理：一般用10%NaOH溶液洗滌，廢氣中的氯矽烷（以SiHCl3為例）和氯化氫與NaOH發生反應而被除去。含有NaCl、Na2SiO3的出塔底洗滌液用泵送入工藝廢料處理工序。

廢液處理：一般分離提純工序殘液主要含有四氯化矽和聚氯矽烷化合物的液體以及裝置停車放淨的氯矽烷液體加入石灰乳液中和廢液中的氯矽烷等和而被轉化成無害的物質。經過規定時間的處理，用泵從槽底抽出含H4SiO4、CaCl2、H4SiO4、Na2SiO3的液體，送往工藝廢料處理工序。

廢料處理：

A．Ⅰ類廢液處理
來自氯化氫合成工序的廢酸、液氯汽化工序的廢堿、廢氣殘液處理工序和廢矽粉處理的廢液等在此工序進行混合、中和後，經過壓濾機過濾。濾渣（主要為SiO2、NaCl等）送渣廠堆埋。濾液主要為NaCl溶液，進行蒸發、濃縮和結晶。蒸發冷凝液循環利用（配置NaOH溶液），結晶固體氯化鈉等外售或填埋。

B．Ⅱ類廢液處理
來自矽芯制備工序和產品整理工序的廢氫氟酸和廢硝酸，用堿液中和，生成的氟化鈉和硝酸鈉溶液，進行蒸發、濃縮和結晶。蒸發冷凝液循環利用（配置NaOH溶液），結晶固體氟化鈣和硝酸鈉等外售或填埋。

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