二硅化加热元件
一般资料
二硅化加热元件是一个主要包括二硅化的电子元件,用于工业和实验室用炉。这种独特的材料制成的元件能够承受在其表面的高功率密度的物质(比如,20 W/cm?的元件表面可承受1700°C的元件温度,14 W/cm? 的元件表面可承受1800°C,5 W/cm? 的元件表面可承受1900°C),这样的元件可迅速的循环。当元件在空气中的最大温度高达1700°C、1800°C、1900°C时,它可能成为3级。
二硅化钼基钨条制成的加热元件在高温下能抗氧化。当它们被暴露在空气中,承受高温的时候,这些元件的表面被所形成的一层薄薄的硅玻璃所保护。虽然这种基质的陶瓷是以硅“皮肤”的形式被消耗的,但是其分解率极低。在高温下,它们能够有很长的功率,并同时产生很高的能量。
随着金属陶瓷的分解,加热柄的直径减少,电阻元件会不断的增加。二硅化加热元件并不能显示碳化硅、金属铁铬铝合金元素的老化。二硅化加热元件可以在高温下运作,在氧化气氛中让寿命最长。它们可以在其他的气氛中操作,但是要在较低的温度下。
特征及其性能
| 电阻率随1700级和1800级元件的元件温度 |
最大的表面负荷随1700级(红)和1800级(黑)元件的炉温 |
 |
 |
不同的气氛中的有用的元件温度, ? (?)
级 |
1700 |
1800 |
1900 |
空气 |
1700 (3092) |
1800 (3272) |
1850(3360) |
氮气 |
1600 (2912) |
1700 (3092) |
1800 (3270) |
氩气,氦气 |
1600 (2912) |
1700 (3092) |
1800 (3270) |
氢气 |
1100-1450
(2012-2642) |
1100-1450
(2012-2642) |
1100-1450
(2012-2642) |
氮/氢 95/5%* |
1250-1600
(2282-2912) |
1250-1600
(2282-2912) |
1250-1600
(2282-2912) |
放热型气体
(e.g. 10% CO?/SUB>, 5% CO, 15% H?/SUB>) |
1600 (2912) |
1700 (3092) |
1700 (3092) |
吸热型气体
(e.g. 40% H?/SUB>, 20% CO) |
1400 (2552) |
1450 (2642) |
1450 (2642) |
裂纹和部分烧毁氨 (~8%H?/SUB> ) |
1400 (2552) |
1450 (2642) |
1400 (2552) |
安装及使用
由于承受的温度最高,功率最高,再加上寿命最长,二硅化加热元件必须以自由悬挂的方式安装。元件必须放置在离熔炉壁够远的地方,这样当它们受内应力的释放影响而发生偏离,或者由于与临近的元件发生电磁作用而弯曲扭曲时,就可以自然的运动。我们建议熔炉配套装置使用要包括加热元件支架、加热元件背带,以此来支撑并电链接终端柄。在低温下,二硅化加热元件是易碎的,必须小心操作。而温度达到1200?以上时,在自身的负荷下它们就会变得柔软松弛,当元件的被加热的长度部分互相抵制时,它们就会变成“可口可乐瓶”的形状。
有着弯曲终端的二硅化加热元件可以通过炉衬侧墙来安装。加热元件支架是来保证终端的。当元件以一个直接由耐火材料或触摸绝缘来支撑的方式安装时,它们必须可以自由运动。在操作这种运用方式时,由于与二硅化“皮肤”相摩擦,它们的最大温度会降低,并且压力的变化可能导致灾难性的后果。
二硅化加热元件显示出显著的正温度电阻系数。其元件温度升高时,电阻率也会升高。当元件刚开始被发射时,在有电流限制的可控硅整流器发射的一个很典型的相位角会控制此时的高电流。升温后,它的电阻率增加,就会自行限制电流流量。
可用性
典型尺寸
级 |
1700 |
1800 |
1900 |
d/cmm |
3/6 |
4/9 |
6/12 |
9/18 |
12/24 |
3/6 |
4/9 |
6/12 |
9/18 |
12/24 |
3/6 |
6/12 |
Le, max mm. |
350 |
450 |
1400 |
1400 |
1700 |
350 |
450 |
1400 |
1400 |
1700 |
320.0 |
360.0 |
Lu, max mm |
300 |
450 |
1000 |
1000 |
1000 |
300 |
450 |
1000 |
1000 |
1000 |
320.0 |
360.0 |
a typical mm |
25 |
25 |
40/50 |
60 |
80 |
25 |
25 |
40/50 |
60 |
80 |
25 |
40/50 |
f mm |
25 |
25 |
45 |
75 |
100 |
25 |
25 |
45 |
75 |
100 |
25 |
45 |
g mm |
15 |
15 |
25 |
30 |
40 |
15 |
15 |
25 |
30 |
40 |
15 |
25 |
标准的二硅化加热元件
标准的二硅化加热元件可以从存货中即时出货。定制的元件也会应要求供给。二硅化加热元件通常被做成"U"型,但是我们也可以制造各种尺寸和形状的元件。我们也有以上所列的各种尺寸和形状的双直柄元件。您也可以选择有公制尺寸,特殊的直径大小,如12/24毫米以及甲维的元件。那些有特殊形状,如在加热或终端部分有多个柄,弯头(如90? 45? 30? 等等),再加上平板和晶圆加热器的元件我们也可以为您制造。生产二硅化加热元件的工艺允许我们为您生产各种形状和尺寸定制的元件。定制的形状包括,90°曲度,45°曲度,多柄。圆柱形以及其他的。
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